第149章 这怎么可能……(3/5)

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一眼看去。

仅仅是最上层目录,便涉及了半导体制造的各个关键环节。

而且每一个大类后面,都标注着一个极其惊人的文件数量。

少则数千份。

多则数万份。

梁致远的眉头逐渐皱了起来。

一开始。

他还以为这只是将公开论文和行业资料整理到了一起。

可目录里的分类方式,却极为专业。

甚至连国内目前尚未完全掌握的部分技术路线,都被单独划分了出来。

梁致远没有浪费时间。

他的研究方向,主要集中在半导体材料、器件结构和集成电路工艺可靠性。

最近一段时间。

半导体所正在重点攻关的,正是六十五纳米工艺中的铜互连问题。

想到这里。

梁致远移动鼠标,点开了第六类。

【铜互连与低介电常数材料】

下一秒。

又是一长串更加详细的目录出现在屏幕上。

【铜互连电镀液配方及添加剂控制】

【钽及氮化钽扩散阻挡层沉积工艺】

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